一般资料

  • 技术:劈裂电弧
  • 占地空间: W3,000 × D2,300 × H2,100 mm
  • 其他: 双壁不锈钢水冷炉体,专家操作系统,远程诊断功能

炉装量 (24小时计)

  • 铣刀
    • D6 × 50 mm = 1,800 × 7 = 12,600
    • D16 × 95 mm = 450 × 7 = 3,150
  • 刀片
    • D20 × H6 mm = 2,340 × 7 = 16,380
  • 滚刀
    • D80 × 180 mm = 24 × 7 = 168

转盘

  • D436 × H727 mm

功率

  • 3×400V/100 kW

靶材

  • 727×178×18 mm (3组)
  • 200/800/800

涂层种类

  • 标准涂层
    • TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, MDT, ALL
  • 可选涂层
    • TiAlSiN, AlCrTiN, DLC, NF1, TAS, ACO, ALINOX, TICX

真空/ 等离子

  • 真空室尺寸
    • W800 x D800 x H1,150 mm
  • 真空室容量
    • 730L
  • 有效等离子体容量
    • (D=直径、H=有效目标物高度) D550 x H720 mm

电气/ 软体

  • 工业用PC系统
  • 简易的诊断与说明系统
  • 通过数据机或IP远端诊断
  • 备用备份镜像硬碟